固化-低温固化采用烘箱-恒黔科技(诚信商家)

固化烘箱作用
本发明属于半导体芯片制造技术领域，具体涉及一种光敏树脂BCB的固化方法，包括如下步骤:1)在外延片表面上涂覆光敏BCB胶，采用光刻的方法在外延片表面形成光敏BCB胶图形;2)采用等离子体反应刻蚀处理外延片表面的光敏BCB胶;3)将刻蚀后的外延片放入退火炉中，通入H2和Ar的混合气体保护，采用多级升温保温的方式从50℃升至275℃，并在275℃保温2h;4)随后增大通入的H2和Ar的混合气体的流量，迅速将退火炉的温度降至室温，烘箱固化工艺标准，停止通入H2和Ar的混合气体，完成固化。本发明提供的光敏树脂BCB的固化方法采用多级升温保温的方式，使BCB聚合反应更加充分;并在退火时采用H2和Ar的混合气体取代传统N2作为保护气体，固化，降低了氧化老化的可能性，提高BCB质量。

<百级洁净烤箱>晶圆封装PI/BCB胶固化洁净烤箱PI/BCB胶常用于粘贴晶圆基板或柔性电路板在治具上，从而进行印刷、贴片、测试等一系列工序，它的固化工艺需要在无尘无氧的环境下进行，并通入氮气保护，使用百级洁净烘箱的多段温度控制仪表分段设定温度，首先使胶在基板上分布均匀，然后充分的挥发，后在半导体芯片表面形成低介电常数的PI/BCB胶薄膜，从而完成固化工艺。

品牌洁净烘箱（无尘烘箱）SK系列采用*特的内外舱一体结构，结合内循环风道设计，通过耐高温**过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤，从而形成高洁净、温度均匀的密闭的洁净无尘高温烘烤环境。产品具有内部洁净，自身不产尘，控温精准，温场分布均匀等众多优点，固化用烘箱，广泛应用于精密电子制造，半导体晶圆制造，低温固化采用烘箱，大规模集成电路，生物制造、洁净实验室、航天航空等众多工业领域。