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常用PI/BCB胶的固化方法是什么?
真萍科技PI无氧固化烤箱应用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,恒温烘箱价格,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,模压固烤、IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,烘箱价格和,电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
一、常用PI/BCB胶的固化方法,大致如下:
1.1在半导体芯片表面涂覆一层粘附剂;
1.2通过旋转方式在半导体芯片表面的粘附剂上涂覆一层液态PI/BCB胶,接着将涂覆好PI/BCB胶的半导体芯片放入固化炉中,并通入氮气保护;
1.3加热固化炉,使涂覆PI/BCB胶的半导体芯片达到温度一,稳定一段时间,使PI/BCB胶中的溶剂分布均匀;
1.4将加热固化炉升高到一*二温度,稳定一段时间,使PI/BCB胶中的溶剂充分挥发;
1.5将加热固化炉升高至一*三温度,稳定一段时间,在半导体芯片表面形成低介电常数的PI/BCB胶薄膜;
1.6将加热固化炉的温度降至一预定温度,关氮气,取出样品,完成固化工艺。
二、真萍科技PI无氧固化烤箱主要特点
2.1采用耐高温长轴型马达及强力多翼式风叶,强力吸风式机构使得均匀分布温度,安静低噪音,节约能源
2.2箱体选用全陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点
2.3吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求。
三、用途
真萍科技PI无氧固化烤箱应用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,模压固烤、IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
固化烘箱作用
本发明属于半导体芯片制造技术领域,具体涉及一种光敏树脂BCB的固化方法,包括如下步骤:1)在外延片表面上涂覆光敏BCB胶,采用光刻的方法在外延片表面形成光敏BCB胶图形;2)采用等离子体反应刻蚀处理外延片表面的光敏BCB胶;3)将刻蚀后的外延片放入退火炉中,烘箱价格,通入H2和Ar的混合气体保护,采用多级升温保温的方式从50℃升至275℃,并在275℃保温2h;4)随后增大通入的H2和Ar的混合气体的流量,迅速将退火炉的温度降至室温,停止通入H2和Ar的混合气体,完成固化。本发明提供的光敏树脂BCB的固化方法采用多级升温保温的方式,使BCB聚合反应更加充分;并在退火时采用H2和Ar的混合气体取代传统N2作为保护气体,降低了氧化老化的可能性,提高BCB质量。
设备特点内胆为不锈钢满焊密封结构,防止气体进入绝缘层;10mm钢面板可加固结构并保证尺寸的稳定性;表面喷塑处理保证了设备的抗腐蚀能力;铠装大门降低了皮肤接触设备时的温度;水冷密封圈设计能有效的密封大门;门密封设计保证设备在500℃高温运行时完整的密封效果;大门与加热器/风门互锁功能。可连电脑,实现同时监测与控制多台设备历史数据、历史操作,历史报警数据查询,记忆操作步骤,操作便捷!智能化多段可编程控制,真空烘箱价格,真正实现复杂的试验过程自动控制和运行主要技术参数温度范围:室温+20℃~500℃均匀度:±2%洁净等级:Class100级含氧量:<=20PPM升温速度:常温~+400℃,升温速率:0~7℃/min,升温斜率程序可控降温速度:降温斜率程序可控控制精度:±0.5℃分辨率:±0.1℃额定电压下关闭排气装置空载运行
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